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ProRGA-7000残余气体质谱分析仪
产品概述:
ProRGA-7000是yl7703永利基于质谱分析技术平台开发的一款高性能残余气体分析仪,用于检测特定真空区域内关键气体分压,适用于真空度10Pa到常压应用场合。具有毫秒级响应速度和ppb级的灵敏度,非常适合检测真空泄露状态,如电池、半导体、冻干机等真空腔体内部特定过程相关气体的污染水平或动态波动,并及时提醒用户可能产生的潜在风险,提升产品良品率。
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产品概述
ProRGA-7000是yl7703永利基于质谱分析技术平台开发的一款高性能残余气体分析仪,用于检测特定真空区域内关键气体分压,适用于真空度10Pa到常压应用场合。具有毫秒级响应速度和ppb级的灵敏度,非常适合检测真空泄露状态,如电池、半导体、冻干机等真空腔体内部特定过程相关气体的污染水平或动态波动,并及时提醒用户可能产生的潜在风险,提升产品良品率。
产品特点
●检测效率高
支持多个标记物同时检测,单组分检测时间小于0.5S。
●真空适应性强
适用于真空度10Pa到常压应用场合下ppb级残余气体分析。
●设计紧凑
采用模块化设计、结构简单、尺寸小巧,可以方便嵌入生产工艺中。
●自动校准
具备自动校准功能,消除传感器运行漂移,确保长期数据稳定性。
●智能诊断
功能强大的残余气体专用分析软件,具备自动标定、数据处理、仪器调谐和方法开发等多种功能,并集成诊断工具,随时监控仪器及工艺参数状态。
应用领域
电池、半导体、冻干机等行业
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